歐姆龍家庭MEMS（微機電系統(tǒng)）的流量傳感器包括能夠測量流速和質量流率的運動具有高重復精度的智能緊湊模型。這些傳感器可用于測量1 LPM至50 LPM（升/分鐘）的質量流量。MEMS流量芯片實現(xiàn)了高靈敏度。

D6F-P，D6F-V和D6F-W傳感器采用了粉塵分離系統(tǒng)（DSS），可用于監(jiān)控風扇性能，檢測計算機和投影儀中堵塞的過濾器，以及商用HVAC系統(tǒng)中的VAV控制。