SiTime 微機電系統(tǒng) (MEMS) kHz 振蕩器是極小的低功耗 32 kHz 器件，針對移動和其他電池供電應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化。硅 MEMS 技術(shù)實現(xiàn)了超小尺寸和芯片級封裝。這些器件可實現(xiàn)更大的元件布局靈活性，并消除了外部負(fù)載電容，從而節(jié)省了額外的元件數(shù)量和電路板空間。SiTime 采用 NanoDrive? 技術(shù)，這是一種工廠可編程輸出，可降低電壓擺幅，從而最大限度地降低功耗。還提供 TempFlat MEMS? 技術(shù)，該技術(shù)可在 1.2 mm x 1.2 mm 的封裝內(nèi)實現(xiàn)首個 32 kHz ±3 百萬分之一 (ppm) 超級 TCXO。
SiTime 的 MEMS 振蕩器包括一個 MEMS 諧振器和一個可編程模擬電路。kHz MEMS 諧振器采用 SiTime 獨特的 MEMS First? 工藝。關(guān)鍵制造步驟是 EpiSeal?，在此期間 MEMS 諧振器的退火溫度超過 +1000°C。EpiSeal 創(chuàng)造了一個極其牢固、干凈的真空室來封裝 MEMS 諧振器，可確保最佳的性能和可靠性。